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公司产品聚焦于纳?亚纳米级三维结构的高精密高速检测和量测

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原子力显微镜APEX-OL

APEXOL-1000带来埃米级别的扫描精度，同时可提供相位，电场，磁场和导电性能的测量。为实验室提供快速且高精度的量测数据?

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原子力显微镜APEX-IL

APEXIL-X1是应用于晶圆厂的在线自动化AFM量测系统。本系统可以轻松检测出晶圆缺陷，分辨率可达纳米级。同时可提供高达10mm的线性长程扫描，以及灵活的换针系统?

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原子力显微镜APEX-IL

APEXIL-X1是应用于晶圆厂的在线自动化AFM量测系统。本系统可以轻松检测出晶圆缺陷，分辨率可达纳米级。同时可提供高达10mm的线性长程扫描，以及灵活的换针系统?

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应用案例

公司产品聚焦于纳?亚纳米级三维结构的高精密高速检测和量测

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应用领域

产品主要应用在集成电路芯片制造良率检测、半导体材料的表面微结构量测和缺陷检?

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